壓電材料應(yīng)變測(cè)試儀搭配測(cè)試夾具及其參數(shù)

華測(cè)儀器全新推出的微型激光測(cè)振傳感器,激光測(cè)振儀是一種小型激光傳感平臺(tái)，將這兩種主流的傳感功能結(jié)合在一個(gè)光學(xué)平臺(tái)上，可實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量和振動(dòng)測(cè)量等多種功能，激光測(cè)振儀在保持高精度測(cè)量的同時(shí)還降低了模塊尺寸和成本。微型激光測(cè)振傳感器/激光測(cè)振儀產(chǎn)品性能方面覆蓋從低頻到高頻甚至超聲測(cè)量領(lǐng)域DC~2.5MHz的頻率范圍相應(yīng)，測(cè)量速度20m/s，振幅分辨率20pm，頻率小于0.1% 。

主要技術(shù)參數(shù)

主機(jī)參數(shù)：

1.電壓范圍：0.1V ~ ±1000V（可調(diào)）

2.頻率范圍：0.01Hz ~ 1MHz

3.溫度范圍：-40°C ~ 300°C

4.數(shù)據(jù)采集速率：max 1000點(diǎn)/秒，確保高精度測(cè)量

功率放大器參數(shù)：

設(shè)備型號(hào)：HCAM-4KV

1.輸出電壓范圍：0 ~ 4KV 直流或峰值交流

2.輸出電流范圍：0 ~ 10mA 直流或峰值交流

3.輸入電壓范圍：0 ~ 10V 直流或峰值交流

4.輸入抗阻：25kΩ

5.直流電壓增益：400V/V

6.直流電壓增益精度：優(yōu)于滿量程的0.2%

7.內(nèi)部電容：300 pF (高壓輸出)

8.直流失調(diào)電壓:低于±1V

9.轉(zhuǎn)換速率（10％ to 90％）：優(yōu)于1000V/μs

10.小信號(hào)帶寬 (-3dB)：DC 優(yōu)于10KHz

11.大信號(hào)帶寬(-3dB)：DC 優(yōu)于20KHz

12.輸出噪聲：低于30mV rms

13.穩(wěn)定性：隨時(shí)間漂移：低于100ppm/hr，非累積；

                       隨溫度漂移： 低于120ppm/℃

激光測(cè)振儀參數(shù)：

1.指示激光波長(zhǎng)：636nm

2.測(cè)量激光波長(zhǎng)：1550nm

3.激光功率：P636 nm < 1 mW；P1550 nm < 10 mW

4.激光**等級(jí)：指示激光，Class Ⅱ@636nm;

                                   測(cè)量激光，Class IIIB@1550nm

5.光纖激光頭：長(zhǎng)度：< 177 mm 直徑：< 35 mm

6.工作距離：0.35m-10m

7.小信號(hào)：10kHz

控制箱參數(shù)

1.max測(cè)量速度：±24.5 m/s

2.位移范圍：±4900 mm

3.輸出電壓范圍：±10V

4.頻率范圍：DC～3MHz

5.濾波設(shè)置：高通、低通濾波，跟蹤濾波

6.線性誤差：≤1.00%

7.速度分辨率：優(yōu)于 0.01μm/s/√Hz

8.位移分辨率：優(yōu)于1pm

9.模擬輸出：BNC接口輸出

10.數(shù)字輸出：RJ45千兆以太網(wǎng)口

11.低通濾波器：2 kHz、10 kHz、20 kHz、40 kHz、80 kHz、160 kHz、360 kHz、                                

                                 1 MHz、3 MHz（VD-18/DD-27）

12.采樣率：不低于15360000

13.工作頻率：55KHz時(shí)可測(cè)量被測(cè)物振幅不低于140 μm

14.高通：DC/DC BLOCK

15.輸入抗阻：50 Ω

16.輸出抗阻：50 Ω

 應(yīng)用案例：

激光測(cè)振儀配合高低溫冷熱臺(tái)對(duì)壓電器件測(cè)量

1.連接到Huace FE-3000鐵電分析儀上的激光測(cè)振儀可測(cè)量沉積在懸臂和膜上或沉積在基板上的壓電薄膜的壓電系數(shù)；

2.鐵電測(cè)試系統(tǒng)與激光干涉儀相結(jié)合，在D33振動(dòng)過(guò)程中可以達(dá)到0.2pA(0.02nm)分辨率；

3.高低溫冷熱臺(tái)可以添加到薄膜壓電測(cè)試套件中，可以在單個(gè)樣品在 -196℃至 600℃的溫度中進(jìn)行測(cè)量。

激光測(cè)振儀配合懸臂梁測(cè)量對(duì)薄膜應(yīng)變測(cè)量

1.激光測(cè)振儀與薄膜壓電測(cè)試(E31)相結(jié)合，可測(cè)量沉積在懸臂上的壓電薄膜的壓電系數(shù)(E31、D31和E33)。

應(yīng)用場(chǎng)景：

1.壓電疲勞；2.壓電老化；3.過(guò)程監(jiān)控；

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

1.無(wú)源化：無(wú)源化光纖光學(xué)頭設(shè)計(jì)，不存在有源電路。

2.便攜性：可固定于三腳架，配有為儀器定制的拉桿箱，方便攜帶。

3.大量程：max測(cè)量范圍可達(dá)到10m，max測(cè)量速度可達(dá)24.5m/s。

4.人眼**：采用人眼**的不可見(jiàn)紅外光作為測(cè)量光。

5.可定制：可根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程和頻率范圍，為客戶進(jìn)行定制。

6.個(gè)性化軟件：可根據(jù)客戶需求配備具有實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)測(cè)量、實(shí)時(shí)顯示變化趨勢(shì)等智能化功能的軟件。

7.非接觸式測(cè)量：可解決接觸式測(cè)量在實(shí)際應(yīng)用中受到測(cè)量環(huán)境（高溫、強(qiáng)磁、腐蝕性材質(zhì)等）影響而無(wú)法完成的測(cè)試。

8.完整的解決方案：包含了光學(xué)調(diào)試、電路去噪、信號(hào)處理、數(shù)據(jù)采集和軟件分析功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.非接觸式測(cè)量：優(yōu)于 1pm的位移分辨率，振幅分辨率20pm；頻率精度小于0.1%

2.不受環(huán)境和材質(zhì)顏色影響：因?yàn)榧す馐哂懈叨鹊姆较蛐院拖喔蓴_性，激光測(cè)振儀不依賴于物體的顏色或材質(zhì)來(lái)反射激光。

3.小型化、集成抗干擾能力強(qiáng)：以集成光學(xué)芯片為核心，具有體積小、質(zhì)量輕、易維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

4.同軸收發(fā)無(wú)測(cè)量死角：采用同軸收發(fā)技術(shù)，即激光發(fā)射器和接收器位于同一軸線上。

應(yīng)用領(lǐng)域：

微型激光測(cè)振傳感器/激光測(cè)振儀應(yīng)用領(lǐng)域：超聲領(lǐng)域；新能源領(lǐng)域、3C電子消費(fèi)行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)。儀器加工領(lǐng)域，工業(yè)在線測(cè)量等。